测量原理

带硅微机械的热导传感原理

测量范围

H₂ :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

He :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

Xe :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

 (热导原理可在氮气,空气或氩气为背景气中测量)

SF6传感器AGM 22机械尺寸

PCB 160 x 100mm, 高 40mm

重量

较大 800g

管径

3mm ID

反应时间

6. . . 45s, 与所使用传感元件, 流量, 管长度, 数字时间量

精度

满量程 2% FS

稳定性

满量程 2% FS ( 12个月以上)

重复精度

0.2% （零点时）, 1% （样气时）

较低检测值

<满量程1% FS

线形误差

<满量程2% FS

温度特性

满量程 1% FS/10^O Kelvin （零点）, 2% FS/10^O Kelvin （标气）

温控加热器

55^O C ± 5^O C, 选配

压力特性

0% （零点）, < 2% FS/10 mbar （标气）(无压力补偿时)

压力补偿

< 0.2% FS/10mbar （标气）(补偿到800. . . 1200 mbar), 选配

状态/故障控制

双色LED显示

状态/故障输出

5V HCMOS on 34-Pin 连接器