ZT-60-15立式化学气相沉积炉

ZT-145-15立式化学气相沉积炉

ZT-220-15立式化学气相沉积炉

ZT-270-15立式化学气相沉积炉

ZT-550-15立式化学气相沉积炉

一、设备用途：

化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。

二、设备特点：

1、立式结构，炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。

2、双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。

3、控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。

4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。

5、配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。

ZT-60-15立式化学气相沉积炉三、主要技术参数：

No.型号工作区尺寸（ØXH）mm高温度  (℃)真空度   (Pa)压升率

 (Pa/h)温度均匀性(℃)功率（KW）

1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060

2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145

3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220

4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275

5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

注：炉膛尺寸可按您的要求定做

HZT-100-15卧式化学气相沉积炉

HZT-145-15卧式化学气相沉积炉

HZT-145-15卧式化学气相沉积炉

HZT-360-15卧式化学气相沉积炉

一、设备用途：

化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。

二、设备特点：

1、卧式结构，双炉门结构，炉门启闭采用气动方式。

2、双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。

3、控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。

4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。

5、配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。

三、主要技术参数：